[省本级]江西省鼎跃招标咨询有限公司关于南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心双轴晶圆减薄机与800千瓦双头螺杆机制冷机采购项目(采购编号：JXDY2018-C0047-1)竞争性磋商采购公告

采购条目编号

采购条目名称

数量

（单位）

预算金额

（人民币/元）

赣购2018F000076068

科研 双轴晶圆减薄机

1台

1600000.00

赣购2018F000073343

科研 800千瓦双头螺杆机制冷机

1台

580000.00

预算金额合计

2180000.00

设备采购清单及简要技术说明

序号

设备名称

数量

简要技术需求

1

科研 双轴晶圆减薄机

1台

一、 设备名称及用途

名称：双轴晶圆减薄机；设备主要用于2"、4"、6"硅晶圆或其它硬脆材料的薄化处理工艺。

二、 加工质量要求（6"）

厚度变化量TTV≤3um；不同片之间厚度变化量WTW≤±3um；表面无减薄损伤，烧伤，异常，沾污，破坏等情况；边缘无崩边破损现象。

三、 主要技术指标和设备结构性能要求

设备能满足2"、4"、6"圆片产品的磨片要求；适合加工厚度:300um-2300um,（1800um以上厚度测量仪报警失效）最薄可以加工到150um；适合产品类型：缺口和平边定位的晶圆产品；在发生动力异常,操作使用过程各种可能操作失误等情况下均能保证产品安全,机台安全和人身安全。

2

科研 800千瓦双头螺杆机制冷机

1台

机组能耗必须符合国家GB标准《冷水机组能效限定值及能源效率等级》（GB19577-2004）规定的节能评价值——能效等级1级。

整体要求

冷水机组应为整装式结构，即在工厂完成机组的所有制造和性能检验测试工作，安装现场完全不需要再进行制冷系统组装和制冷剂充装工作；机组主要由制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、润滑系统、控制系统、保护系统、节流装置等组成。机组各零部件的安装应牢固、可靠，制冷压缩机应有防振动措施。机组运转时无异常响动，管路间或管路与零部件间不应有相互摩擦和碰撞；机组的隔热层应有良好的隔热性能，在正常工作时表面不应有凝露现象。

3.主要部件

压缩机：应采用半封闭螺杆式压缩机，压缩机绝缘等级不低于F级，电机密封保护等级不低于IP54。压缩机的螺杆、轴承必须为进口，且运行寿命不小于10万小时；每台机组的制冷量应能在一定范围内无级调节，双机头机组不低于15%-100%无级调节范围；润滑油采用压差供油方式，无需油泵，多压缩机之间无需油平衡管路。

蒸发器、冷凝器：蒸发器应采用满液式，冷凝器采用壳管式，冷凝器和蒸发器与冷水机组应为同品牌，外壳采用优质碳钢板制造，内铜管均应采用优质无缝紫铜管。蒸发器内应有防液态冷媒流向压缩机的装置。冷凝器和蒸发器必须由国家认可资质的质量技术监督部门出具的压力容器使用证和特种设备检查检验部门出具的安全检验合格证。蒸发器的制作及试验应符合国家标准。冷凝器和蒸发器制成后，应经过气压强度试验和氦质谱泄漏试验，确保换热器的强度和密封性。冷却水和冷冻水进出水管带中国标准卡箍或法兰。接管可按施工图示方向现场调整。